是必不可少的设备，在芯片工艺提升到7nm EUV、5nm之后，极紫外光刻机也就至关重要。
荷兰的阿斯麦（ASML）公司，是现在全球仅有能制作极紫外光刻机的厂商，他们的陈述数据显现，在2019年，他们共向用户交给了26台极紫外光刻机。
阿斯麦是在2019年的年报中，发表他们向用户交给了26台极紫外光刻机的，较2018年的18台增加了8台。从阿斯麦的财报来看，他们在上一年四季度交给了8台极紫外光刻机，这也就从另一方面代表着他们在上一年的前三个季度，就已完成了2018年的交给量。
阿斯麦现在的极紫外光刻机，包含TWINSCANNXE:3400B和TWINSCAN NXE:3400C，这两款极紫外光刻机，可用来出产7nm和5nm的芯片，后者是最新推出的，上一年共交给了9台。
年报还发表，极紫外光刻机上一年共为阿斯麦带来了27.997亿欧元（折合约31.43亿美元）的营收。
